隨著摩爾定律的推進(jìn),先進(jìn)制程的線寬不斷縮小,已經(jīng)進(jìn)入10納米、7納米、甚至于5納米。同時(shí),無論是前期的晶圓制造環(huán)節(jié)還是后期的芯片封裝環(huán)節(jié),芯片的制造成本都與日俱增,因此,測(cè)試作為集成電路產(chǎn)品驗(yàn)證出廠的關(guān)鍵,越來越受到各大廠商的重視。
由于測(cè)試的重要性和難度大幅上升,測(cè)試服務(wù)費(fèi)用也日益提升,測(cè)試服務(wù)費(fèi)用主要由ATE(自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng),也稱為測(cè)試機(jī))、Prober(探針臺(tái))&Handler(分選機(jī))、Probe Card(探針卡)、Socket(治具)、Load Board(負(fù)載板)構(gòu)成,其中最大的成本支出來自測(cè)試機(jī),占比約為4成。
2021年全球半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備銷售額達(dá)到75.8億美元
測(cè)試機(jī)是檢測(cè)設(shè)備中最重要的設(shè)備類型,屬于電學(xué)參數(shù)測(cè)試設(shè)備,為軟硬件一體產(chǎn)品,包括硬件設(shè)備及測(cè)試系統(tǒng)專用軟件。
測(cè)試機(jī)能測(cè)試半導(dǎo)體器件的電路功能、電性能參數(shù),具體涵蓋直流(電壓、流)、交流參數(shù)(時(shí)間、占空比、總諧波失真、頻率等)、功能測(cè)試等。
無論是晶圓檢測(cè)或是成品檢測(cè),都需要通過測(cè)試機(jī)對(duì)芯片施加輸入信號(hào),并檢測(cè)輸出信號(hào),判斷芯片功能和性能是否達(dá)到設(shè)計(jì)要求,并通過分析測(cè)試數(shù)據(jù),確定具體失效原因,改進(jìn)設(shè)計(jì)及生產(chǎn)、封測(cè)工藝,以提高良率及產(chǎn)品質(zhì)量。
隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷發(fā)展,芯片線寬尺寸不斷減小,耐高壓、耐高溫、功率密度不斷增大、制造工序逐漸復(fù)雜,對(duì)測(cè)試機(jī)的要求愈加提高,提供多種測(cè)試程序并可進(jìn)行大量的并行測(cè)試,提高單位時(shí)間產(chǎn)出量,成為測(cè)試設(shè)備廠商的研發(fā)趨勢(shì)。
在封測(cè)市場(chǎng)的高景氣帶動(dòng)下,測(cè)試機(jī)的市場(chǎng)需求也呈現(xiàn)出高速增長(zhǎng)趨勢(shì)。
根據(jù)SEMI的數(shù)據(jù),2020年全球半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備銷售額達(dá)到60.1億美元,同比增長(zhǎng)20%,預(yù)計(jì)2021年及2022年的市場(chǎng)規(guī)模將分別達(dá)到75.8億美元和80.3億美元,其中測(cè)試機(jī)占比最大,達(dá)到 63.1%,其他設(shè)備分選機(jī)占 17.4%、探針臺(tái)占15.2%。
按上述比例推算,2020 年全球測(cè)試機(jī)市場(chǎng)規(guī)模為37.92 億美元,預(yù)計(jì) 2021 年和2022年將分別達(dá)到 47.83億美元和50.67 億美元。